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高精度測量：在測量精度方面，MPO 表現。在 0 - 50μm 測量范圍內，誤差控制在 ±1μm；50 - 1000μm 時，誤差≤±2%；1000 - 2000μm 區間，誤差≤±3%。重復精度在 0 - 100μm 為 ±0.5μm，＞100μm 時為 ±0.5%。如此高精度的測量性能，能夠滿足眾多對涂層厚度精度要求嚴苛的行業需求。

小尺寸測量能力：最小測量面直徑可達 Φ4mm（在允許誤差 < 10% 時，為 Φ2mm），最小測量曲率在精度范圍內，鐵基為 ρ35mm，非鐵基為 ρ50mm；在允許誤差 < 10% 時，鐵基可低至 ρ10mm，非鐵基為 ρ2mm。這使得 MPO 能夠對一些具有復雜形狀和小尺寸的工件進行精確測量，擴大了其應用范圍。

薄基體測量適應性：對于薄基體材料，MPO 同樣具備良好的測量能力。在鐵基材料上，可測量的最薄基體厚度為 0.2mm（誤差小于 10% 時）；非鐵基材料為 90μm（誤差小于 10% 時）。這一特性使其在處理一些特殊材料或對基體厚度有嚴格要求的測量任務中具有明顯優勢。